ExTox ist Projektpartner im Vorhaben "Funktionale ultradünne Werkstoffe durch ALD für die nächste Generation der Nanosystemtechnik"

 
Funktionale ultradünne Werkstoffe durch ALD für die nächste Generation der Nanosystemtechnik
 
Dieses Projekt soll eine neue Werkstoffbasis für "intelligente" Gas-Sensoren liefern, die auf CMOS-Schaltungen integriert werden können. Im Mittelpunkt des Projektes stehen ultradünne Einfach- und Mehrfachschichten, die mit Atom- lagenabscheidung (ALD) erzeugt werden. Es werden neue Ausgangsmaterialien für ALD entwickelt, Teststrukturen und Demonstratoren auf Basis von ALD- Schichten entworfen und hergestellt, sowie  Messverfahren entwickelt, um die neuartigen Schichten zu charakterisieren. Die Schichten sollen insbesondere in Hinblick auf die spätere Anwendung in der Gassensorik optimiert werden.
 
 

Beitrag der Firma ExTox zum Projekt:

Als Industriepartner besitzt ExTox eine langjährige Erfahrung auf dem Gebiet anwendungsbezogener Gassensorik. ExTox unterstützt einerseits die Spezifikations- und Entwicklungsphase durch praxisnahe Anforderungen, andererseits die Demonstrationsphase durch Integration des Materials in neue Sensor-Anwendungen.

 
 
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